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              真空晶體生長爐單晶爐石墨燒結爐

              真空晶體生長爐單晶爐石墨燒結爐

              所屬分類:實驗真空燒結爐

              產品型號:KZJT-15-16

              更新時間:2022-06-30

              描述:真空晶體生長爐單晶爐石墨燒結爐主要用于LED行業的寶石晶體,高溫合金金屬晶體等的制備新型合金材料晶體材料的研究制備等

              詳細信息

              ·真空晶體生長爐單晶爐石墨燒結爐設備用途 

                主要用于LED行業的寶石類晶體制備,氟化物類晶體生長,燒結,退火等處理

              ·真空晶體生長爐單晶爐石墨燒結爐產品特點

              1·模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,

              2·采用底部電動升降和鐘罩式爐體升降,結構精巧,方便,移動平穩裝卸料方便

              3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大。

              4· 在觸摸屏內可預存幾十種燒結工藝,一次編輯,以后直接調用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯誤,燒壞產品。

              5· 燒結的溫度,真空度,等數據可實時記錄,也可隨時啟動停止記錄,減少無用數據,數據可查詢,可導出下載。

              6· 燒結溫度高,用石墨發熱體,最高可達1600℃,

              ·設備參數

              1·設備總功率:15Kw;電源電壓:3相380V,50Hz

              2·最高溫度:1650℃ 加熱功率 8Kw 單相220V

              3·額定溫度:室溫~1600℃

              4. 工作區尺寸Ф60×100mm(直徑×高,

              爐體內徑Ф300Ф500mm暫定)

              6.測溫系統:                   鎢萊熱電偶

              7.控溫精度:                   ±0.1℃

              8.加熱區:                    Ф80×120mm

              9.坩堝下降速度:              慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)

              快速升降50-200mm/min(帶手動升降)

                  位移行程 150mm

              10.中心軸有效行程/載重:      ≤300mm/20kg

              11.爐內充氣壓力:             ≤0.05MPa

              、結構說明

              1、爐蓋:采用雙層水夾層結構,外壁為304不銹鋼,內外壁與爐體上下法蘭組焊成整體結構,爐蓋設有鎖緊裝置。內外壁都做精密拋光處理,爐蓋上留有放氣閥,壓力表等標準接口。

              2、爐體機構:同樣采用外壁為304不銹鋼材料雙層水夾層結構,內、外壁作精密拋光處理,爐體與下法蘭組成筒型結構,法蘭平面開設密封槽。采用“O”形圈真空密封,并設水冷裝置(防止因溫度過高使“O”形圈老化。側部設計有加熱電極以及測溫裝置接口,還配置有標準KF真空接口。

              3、爐底及升降裝料機構:爐底與爐體采用“O”圈真空密封,并設水冷裝置,真空系統及坩堝電動伺服絲桿升降,爐底與爐體的聯接均采用緊固壓緊密封。爐底法蘭整個安裝在一線性模組上,可整體升降,用于裝卸材料使用。爐底配置晶體生長用線性模組,由伺服電機帶動,用于坩堝升降,做晶體生長使用。升降與爐底采用焊接波紋管密封,防止行走過程真空的泄漏,保證密封的可靠性。

              4、發熱元件及隔熱屏:加熱采用高純石墨作發熱體,純度高,無揮發,有效保證爐腔內的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈,保溫效果好,耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定,便于安裝與維護。溫度控制采用一支鎢錸熱電偶全稱控溫測溫使用。同時,在隔熱屏外設置一支監控熱電偶,監控隔熱屏外溫度,提高設備的安全使用性能效率高耐沖擊性強發熱體與爐體電極聯接,水冷電極安裝在電爐側部,并設冷卻水通水冷卻。

              5、真空系統:由TRP-16機械泵,和高真空氣動擋板組成,并配有真空壓力表、充氣閥、放氣閥。真空管道與泵聯接采用快速接頭聯接(減緩震動),真空測量選用具有數字顯示功能的復合真空計執行。

              6、溫控系統:控制加熱系統有可控硅調壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置,組成閉環控制系統,溫度儀表采用程序儀表帶PID自動調節功能,帶自整定自我調整能力。穩定可靠,控制精度高。控制系統采用PLC+觸摸屏的方式,溫度、真空、位移數據可記錄可查詢,曲線可現實,數據可保存可導出,溫度程序數據可編譯可保存可調用。控制系統集中安放在爐架的一側箱體內,整結大方,維修方便,所有器件均采用施耐德,西門子等,保證使用安全??刂葡涔裆隙加邪踩举N,安裝接線標準化制作。

              7、水冷分配系統:由主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關裝置組成,具有斷水聲光報警及自動切斷電源等功能。

              8、變壓器及聯接電纜:采用與之相匹配的變壓器及聯接電纜

               

               

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