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              2000度晶體退火爐真空燒結爐

              2000度晶體退火爐真空燒結爐

              所屬分類:真空碳管燒結爐

              產品型號:KZT-70-20

              更新時間:2022-07-19

              描述:2000度晶體退火爐真空燒結爐爐蓋采用電動升降,方便裝卸材料,升降結構采用線性模組滑塊,運行平穩無抖動,爐蓋閉合采用自主設計的緩沖機構,避免硬性接觸密封不嚴。設備主要有爐蓋、爐體,爐架、真空系統、加熱系統、水冷系統、爐底升降系統,控制系統等組成。

              詳細信息

              2000度晶體退火爐真空燒結爐結構及功能說明:設備采用立式上開蓋結構,設備整體設計操作方便,設備主要有爐蓋、爐體,爐架、真空系統、加熱系統、水冷系統、爐底升降系統,控制系統等組成。

              2000度晶體退火爐真空燒結爐:設備參數:

              • 主要技術參數

              3.1 電源:三相 380V 50Hz

              3.2 加熱功率:70Kw±10%

              3.3 最高溫度:2000℃

              3.4 工作區尺寸:Φ200*400(D*H,mm)

              3.5 控溫區數:一區

              3.6 控溫方式:鎢錸熱電偶

              3.7 控溫精度:±1℃

              3.8 冷態極限真空度:10Pa(空爐、冷態、烘烤除氣后)

              3.10 充氣氣氛:惰性氣體

              3.11 充氣壓力:≤0.05MPa

              5.1

              • 主要技術參數

              3.1 電源:三相 380V 50Hz

              3.2 加熱功率:70Kw±10%

              3.3 最高溫度:2000℃

              3.4 工作區尺寸:Φ200*400(D*H,mm)

              3.5 控溫區數:一區

              3.6 控溫方式:鎢錸熱電偶

              3.7 控溫精度:±1℃

              3.8 冷態極限真空度:10Pa(空爐、冷態、烘烤除氣后)

              3.10 充氣氣氛:惰性氣體

              3.11 充氣壓力:≤0.05MPa

              爐蓋:爐蓋采用雙層不銹鋼(SUS304)水夾層封頭結構,與法蘭組焊成一個整體。其中內壁精密拋光,外壁拉絲處理。爐門上設有冷卻水進出口、壓力表,放氣閥等快接接口。


              爐體:爐體采用雙層不銹鋼(SUS304)水夾層架構,與上、下法蘭組焊成筒形結構,上下法蘭平面上開設有燕尾型密封槽,采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內壁精密拋光,外壁拉絲處理。爐體側面設有冷卻水進出口、真空抽氣口、加熱電極接口,紅外測溫接口等。

              爐底:爐底采用雙層不銹鋼(SUS304)水夾層平板結構,與法蘭組焊成一個整體。其中內壁精密拋光,外壁拉絲處理。法蘭平面開設有燕尾型密封槽,采用O型硅橡膠密封圈密封。


               

              爐架:爐架采用型材焊接作為骨架,并配合數控鈑金,組合成一個整體,作為整個設備的基礎。同時,一體式設計整齊美觀,操作方便。



              加熱及隔熱系統:加熱采用高純石墨作發熱體,純度高,無揮發,有效保證爐腔內的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈,保溫效果好,耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定,便于安裝與維護。

              溫度控制采用鎢套管熱電偶直接控溫測溫。同時,在隔熱屏外設置一支監控熱電偶,監控隔熱屏外溫度,提高設備的安全使用性能。

              真空系統:真空系統采用2X-30旋片式機械泵配壓差閥的方式,另配有真空閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規管等,真空管道與泵的聯接采用金屬波紋管減緩震動,真空度的測量由睿寶數顯真空計執行。



              充放氣系統:本設備配置一路充放氣系統,由流量計、電磁閥、手閥、、接頭等組成,可對爐內氣氛壓力進行控制。手閥可以根據實際情況,適當調整氣體流量。排出的氣體客戶可結合實際情況進行處理。


              水冷裝置:水冷系統由進出水總管道、閥門及各支路組成。冷卻水由總進水總管進入后,經過各支管送到爐門、爐體、爐底、水冷電極、真空泵、冷阱等這些需要冷卻水的地方,然后匯總到出水總管排出??傔M水管路設有電接點壓力表,具有斷水聲光報警并切斷電源功能。各支路水管采用透明塑膠軟管,通過不銹鋼接頭聯接進出水總管道及設備各進出水口。每路冷卻水進水管都裝有手動閥門,可手動調節水流量大小。



              控制系統:控制加熱系統有可控硅調壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置,組成閉環控制系統,溫度儀表采用程序儀表帶PID自動調節功能,帶自整定自我調整能力。穩定可靠,控制精度高。設備整體配有操作模擬屏,控制系統的操作都集中在上面,直觀明了,操作簡單可靠??刂葡到y集中安放在爐架的一側箱體內,整結大方,維修方便,所有器件均采用施耐德,西門子等,保證使用安全??刂葡涔裆隙加邪踩举N,安裝接線標準化制作。


              變壓器及連接電纜:選用與使用功率相匹配的干式隔離變壓器及電纜。


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